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TGV玻璃激光微孔設(shè)備

主要利用激光進(jìn)行誘導(dǎo)不同材質(zhì)0.1-1mm厚晶圓玻璃的微孔加工(TGV),可實(shí)現(xiàn)各種尺寸盲孔、圓錐(通)孔制備。

  • 咨詢電話:0512-6507 0150
  • 電子郵箱:contact@delphilaser.com

■ 設(shè)備參數(shù)

產(chǎn)品材質(zhì)

熔融石英、AF32等

產(chǎn)品厚度

0.1-1mm

最小孔徑

30μm@玻璃厚度200-300μm

加工精度

±5μm,CPK>1.33

晶圓尺寸

6"&8"/8"&12"

Load Port

Bare wafer Load Port*1

X-Y Table Accuracy

±2μm



■ 應(yīng)用領(lǐng)域

     用于玻璃通孔(TGV)、玻璃鉆孔等



■ 加工效果示例圖

      


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