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碳化硅晶圓激光切割設備
應用于航天航空、電力電子等行業微波器件,功率器件的晶圓片的切割(以碳化硅材料為基板的晶圓)
■ 設備優勢
◆ 切割速度快,切割效果好,良率高
◆ 提供整套的裂片&擴片設備,完整的解決方案
◆ 工藝成熟,可針對不同類型的晶圓進行切割
■ 應用領域
■ 加工效果示例圖
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